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在精密測量領域，電容式位移傳感器憑借其高靈敏度、抗干擾能力強等特點，成為工業(yè)自動化、精密制造等領域的重要工具。本文將梳理電容式位移傳感器的典型類型及其主要應用場景。一、變間隙型：微觀位移的高精度捕手1.工作原理：通過改變電容極板間距（d）實...
HerzTS主動隔振臺介紹：在21世紀納米技術(即先進的半導體代表相關的信息技術，基因療法等生命科學相關技術，原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn))，振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術中，為了獲得可靠的結果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。HerzTS主動隔振臺特點：1、在全部的6個自由度范圍...
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